Príomhfheidhmchláir ard-chruinneas criadóireachta i dtrealamh leathsheoltóra: anailís dhomhain ar airíonna alúmana ard-íonachta, nítríd alúmanaim agus ocsaíd siorcóiniam

Ar bharr an "choróin" de thionscal nua-aimseartha, déantúsaíocht leathsheoltóra, tá gach léim cruinneas nanaiméadar doscartha ó thacaíocht bhunúsach na heolaíochta ábhar. Agus Dlí Moore ag druidim leis an teorainn fhisiceach, tá ceanglais níos déine ag trealamh leathsheoltóra maidir le íonacht ard, ard-neart, friotaíocht creimeadh, cobhsaíocht theirmeach agus airíonna eile. Sa chluiche seo ar an domhan micrea, ag brath criadóireacht cruinneas chun cinn ar a Ar fheabhas Tá a n-airíonna fisiceacha agus ceimiceacha ag bogadh ón taobh thiar de na radhairc go dtí an tosaigh, ag éirí mar bhunchloch ríthábhachtach chun tacú le próisis lárnacha mar eitseáil (Etch), sil-scannán tanaí (PVD/CVD), fótaliteagrafaíocht (litagrafaíocht) agus ionchlannú ian.

1. Cén fáth gur fearr le trealamh leathsheoltóra criadóireacht bheachtais?

Tá an timpeallacht déantúsaíochta leathsheoltóra aitheanta mar cheann de na "dálaí oibre is deacra ar domhan." Sa seomra imoibrithe, tá ábhair faoi réir creimeadh ceimiceach aigéid agus alcaile láidir, buamáil plasma ardfhuinnimh, agus timthriall teirmeach tromchúiseach ó theocht an tseomra go dtí os cionn 1000 ° C.

Tá ábhair mhiotail thraidisiúnta (cosúil le cóimhiotail alúmanaim agus cruach dhosmálta) seans maith go sputtering fisiceach i dtimpeallachtaí plasma, ag táirgeadh éillithe ian miotail, rud a fhágann go díreach le briseadh wafer; cé nach féidir le gnáth-ábhair pholaiméir an iarmhairt gháirsiúil i dteocht ard agus i dtimpeallachtaí folúis a sheasamh. Is eol do chriadóireacht bheachtais as a n-éilliú miotail gar-nialas, comhéifeacht leathnú líneach íseal agus ar fheabhas Tá táimhe ceimiceach anois ina phríomh-chomhpháirt struchtúrach de threalamh leathsheoltóra. croí Roghnaigh.

2. Cluiche feidhmíochta idir alúmana ard-íonachta, nítríd alúmanaim agus zirconia

Sa réimse leathsheoltóra, tá béim dhifriúil ag coinníollacha oibre éagsúla ar ábhair ceirmeacha. Faoi láthair, is iad alúmana ard-íonachta, nítríde alúmanaim agus ocsaíd siorcóiniam na trí cholún den chóras iarratais.

1. Alúmana ard-íonachta

Mar cheirmeach struchtúrach a úsáidtear go forleathan, de ghnáth éilíonn alúmana grád leathsheoltóra íonacht 99.7% nó fiú os cionn 99.9%.

• Buntáistí feidhmíochta: ar fheabhas insliú leictreach, neart meicniúil ard agus suntasach Frithsheasmhach do chreimeadh plasma fluairín-bhunaithe.

• Feidhmchláir tipiciúla: An pláta dáileadh gáis (ceann cith), cuasán ceirmeach, agus lámh róbat láimhseála sliseog sa mheaisín eitseála.

2. “Bainistíocht Theirmeach” plean tábhachtach ”

Tá ról lárnach ag nítríd alúmanaim i gcásanna ina dteastaíonn téamh agus fuarú go minic nó diomailt teasa ardchumhachta.

• Buntáistí feidhmíochta: Tá a seoltacht theirmeach (go hiondúil suas le 170-230 W/m·K) gar do mhiotal alúmanaim, agus tá a chomhéifeacht leathnaithe teirmeach (4.5 × 10⁻⁶/°C) an-ghar do sliseog sileacain, rud a d'fhéadfadh an warpage wafer de bharr strus teirmeach a laghdú go héifeachtach.

• Feidhmchláir tipiciúla: Foshraith chuck leictreastatach (ESC), téitheoir (Téitheoir), agus pacáistiú tsubstráit.

3. “Ábhair láidre” sa chriadóireacht

Tá cáil ar Zirconia mar gheall ar a chruas briste thar a bheith ard i measc ábhar ceirmeach.

• Buntáistí feidhmíochta: Meascán maith de chruas agus toughness, friotaíocht a chaitheamh aird a tharraingt , agus tá seoltacht teirmeach íseal aige (oiriúnach do chásanna inslithe teasa).
• Feidhmchláir tipiciúla: Cónaisc struchtúracha, imthacaí caitheamh-resistant, tacaí inslithe teirmeacha i bhfolústhimpeallachtaí.

3. Féachaint le sármhaitheas chun comhpháirteanna lárnacha a chumhachtú

1. Chuck leictreastatach (ESC), an “croí-iompróir” d'ardphróisis déantúsaíochta

I dtrealamh eitseála agus ionchlannaithe ian, meallann chucks leictreastatacha sliseog trí fhórsaí Coulomb. Ag a chroí tá struchtúr ilchiseal déanta as ocsaíd alúmanaim ard-íonachta nó nítríd alúmanaim. Ní hamháin go soláthraíonn criadóireacht chruinn cosaint inslithe, ach déanann siad rialú beacht ar theocht wafer (cruinneas suas le ± 0.1 ° C) trí leictreoidí agus bealaí fuaraithe atá leabaithe go hinmheánach.

2. Eitse na comhpháirteanna taobh istigh den chuas chun “bac” a dhéanamh ar phlasma

Le linn an phróisis eitseála, déanfaidh plasma ardfhuinnimh bombard leanúnach ar an gcuas. Is féidir le comhpháirteanna beachtais a úsáideann bratuithe ceirmeacha ard-íonachta alúmana nó yttrium ráta giniúna na gcáithníní a laghdú go suntasach. Léiríonn sonraí turgnamhacha gur féidir úsáid a bhaint as criadóireacht ard-íonachta in ionad ábhair thraidisiúnta an timthriall cothabhála trealaimh (MTBC) a leathnú níos mó ná 30%.

3. Céim aistrithe beachtais den mheaisín fótailiteagrafaíocht, ag leanúint le suíomh beacht

Tá riachtanas cruinneas suite an mheaisín fótailiteagrafaíochta don chéim workpiece ag an leibhéal fo-nanaiméadar. Cinntíonn ábhair ceirmeacha a bhfuil ard-stiffness ar leith, leathnú teirmeach íseal, agus tréithe taise ard, nach bhfuil an chéim dífhoirmithe go héasca mar gheall ar táimhe nó teasa le linn gluaiseachta ardluais, ag cinntiú ailíniú cruinneas an nochta.

4. Cuidíonn nuálaíocht neamhspleách le todhchaí an tionscail

An té a bhreathnaíonn ar an scéal, bíonn sé ciallmhar, agus an té a rialaíonn an cás bíonn an bua aige. Faoi láthair, tá an tionscal leathsheoltóra i dtréimhse fhuinneog ríthábhachtach le haghaidh atriall teicneolaíochta. Tá méid mór, comhtháthú agus logánú tar éis éirí mar threochtaí dosheachanta i bhforbairt thionscal na criadóireachta beachtais.

• Méid mór: Cruthaíonn comhpháirteanna ceirmeacha mórmhéide atá oiriúnaithe do sliseoga 12 orlach agus os a chionn dúshláin níos airde do na próisis mhúnlú agus shintéirithe.

• Comhtháthú: Tá comhtháthú comhtháite páirteanna struchtúracha agus feidhmeanna téimh braite ag brú comhpháirteanna ceirmeacha ó "páirteanna meicniúla" aonair go "modúil cliste".

• Logánú: Sa lá atá inniu ann, nuair a bhíonn slándáil an tslabhra soláthair ina ábhar imní mór, tá rialú neamhspleách ar an slabhra tionsclaíoch iomlán ó phúdar ard-íonachta go cruinneas próiseála tar éis éirí mar mhisean na huaire d'fhiontair lárnacha sa tionscal mar Zhufa Technology.

Conclúid

D'fhéadfadh cuma fuar agus simplí a bheith ag criadóireacht chruinneas, ach tá an chumhacht acu an domhan micreascópach a athrú. Ó atriall na n-ábhar bunúsach go dtí leas iomlán a bhaint as saol na gcomhpháirteanna lárnacha, tá gach cinn teicneolaíochta mar ómós do mhonarú ardchruinneas.

Mar dhuine a bhfuil baint mhór aige le réimse na criadóireachta chun cinn tábhachtach neart, Zhufa Beachtas Ceirmeach Teicneolaíocht Co, Teo. Cloíimid i gcónaí le nuálaíocht theicneolaíoch mar ár gcroílár agus táimid tiomanta do réitigh ceirmeacha cruinneas ard-iontaofachta, saolré fada a sholáthar do chomhpháirtithe leathsheoltóra. Tá a fhios againn gur trí shaothrú leanúnach ar ardchaighdeán amháin a bheidh a fhios againn gur féidir linn cloí leis na freagrachtaí tábhachtacha a chuirtear ar iontaoibh na linne seo.

[Comhairliúchán teicniúil agus tacaíocht roghnúcháin]

Má tá tú ag lorg eolais faoi Saincheapadh chuck ceirmeach ardfheidhmíochta, réitigh comhpháirteanna plasma-resistant nó athsholáthar ábhar próisis chun cinn Le haghaidh réitigh ghairmiúla, téigh i dteagmháil le Zhufa Technology. Cuirfimid tuarascálacha tástála ICP-MS mionsonraithe ar fáil duit, meastóireacht ar phróiseas casta páirteanna struchtúracha agus moltaí roghnúcháin.