I dtrealamh déantúsaíochta leathsheoltóra, úsáidtear comhpháirteanna ceirmeacha cruinneas (cosúil le chucks leictreastatacha (ESC), fáinní fócais, tacaí inslithe, líneálacha seomra folúis agus suíomhanna lárnacha eile) go forleathan i bpoist lárnacha mar gheall ar a bhfriotaíocht ard teochta níos fearr, friotaíocht creimeadh plasma, insliú ard agus tréithe íseal dífhoirmithe teirmeach. Mar sin féin, tá ábhair ceirmeacha ina n-ábhar brittle ó dhúchas le cruas ard, gan aon chumas dífhoirmithe plaisteacha, agus airíonna fisiceacha atá thar a bheith íogair do strus teirmeach agus turraing teirmeach. Ciallaíonn sé seo go dteipeann go hiomlán ar an smaointeoireacht dearaidh mheicniúil thraidisiúnta le haghaidh miotail nó plaistigh i réimse na criadóireachta - is féidir le miotail tiúchan struis a ionsú trí tháirgeadh plaisteach logánta, agus ní théann criadóireacht faoi bhriseadh brittle ach amháin nuair a sháraítear a dteorainn leaisteacha. Dá bhrí sin, chun líníochtaí ceirmeacha beachtas a dhearadh a chuireann riachtanais fheidhmiúla agus indéantacht phróiseála san áireamh go fírinneach, ní mór dearadh le haghaidh monaraíochta (DFM) a chomhtháthú sa phróiseas iomlán de chumraíocht geoiméadrach, córas caoinfhulaingt, comhéadan cóimeála, agus airíonna ábhair.

1. Cumraíocht geoiméadrach agus teorainneacha teicneolaíochta próiseála

Ó thaobh leas iomlán a bhaint as cumraíocht gheoiméadrach, ní mór don dearadh líníochta cloí le teorainneacha próiseas na dteicneolaíochtaí próiseála ceirmeacha nua-aimseartha (cosúil le meilt Diamond, próiseáil ultrasonaic, gearradh léasair agus meaisínithe glas) a mhéid is mó. I ndearadh struchtúrach, is é deireadh a chur le foinsí tiúchana strus an chéad phrionsabal. Ba cheart coirnéil inmheánacha géara (cosúil le haistrithe dronuillinn) a sheachaint ar líníochtaí, toisc go bhféadfadh na réimsí seo a bheith go héasca mar fhoinse tionscnaimh agus leathnú micrea-craiceann faoin réimse strus teochta le linn an phróisis shintéirithe agus próiseáil mheicniúil ina dhiaidh sin, rud a fhágann go dtiocfaidh próiseáil chipping imeall nó briseadh seirbhíse. Ní mór na coirnéil inmheánacha go léir a dhearadh chomh mór agus is féidir filléid trasdula (coirnéil R); más gá dronuilleach a choinneáil mar gheall ar riachtanais tionóil, ní mór grooves undercut nó grooves rilífe a chur leis an struchtúr. Ag an am céanna, tá aonfhoirmeacht tiús bhalla lárnach chun cáilíocht shintéirithe ceirmeacha a chinneadh. Ós rud é go ndéantar criadóireacht thionsclaíoch ó phúdar agus go ndéantar é a dhlúthú trí shintéiriú ardteochta, beidh crapadh míchothrom mar thoradh ar an difríocht mhór i dtiús trasghearrtha, rud a fhágann go mbeidh dífhoirmiúchán mór warping, strus iarmharach inmheánach agus fiú scoilteadh. Ina theannta sin, ba cheart go mbeadh teorainn dhian ar dhearadh gnéithe cuas domhain, poill dall domhain, agus struchtúir cóimheas gné ard, toisc go gcuirfidh sé seo ní hamháin cinnirí meilt Diamond agus uirlisí meaisínithe ultrasonaic chun aghaidh a thabhairt ar stiffness dian neamhleor agus caitheamh uirlisí, ach beidh sé níos measa go mór ar choinníollacha aslonnaithe sliseanna agus fuaraithe.

2. Comhbhabhtáil eolaíoch idir an córas lamháltais agus cáilíocht an dromchla

Nuair a thagann sé chun córais lamháltais agus cáilíocht dromchla a shainiú, ní mór d'innealtóirí an smaoineamh táimhe a thréigean "dá airde an cruinneas, is amhlaidh is fearr." Tá lamháltais iomarcacha freagrach as costais mheaisínithe an-ardaithe agus rátaí arda fuíoll na gcomhpháirteanna teicniúla ceirmeacha. Cé gur féidir le criadóireacht chun cinn (cosúil le ocsaíd alúmanaim, nítríd alúmanaim, chomhdhúile sileacain) cruinneas tríthoiseach fo-mhicrón a bhaint amach trí mheilt cruinneas, ní mór do líníochtaí gan lamháltais dhian a fhorchur ar gach toise gan idirdhealú. Ba cheart toisí nach mbaineann le dromchlaí cúplála, dromchlaí saora, nó suíomh cóimeála a mhaolú go leor chun ligean dóibh lamháltais mhúnlaithe glasa nó shintéirithe traidisiúnta do chriadóireacht a leanúint. Ní mór díriú ar lipéadú garbh an dromchla (Ra) - is gnách go mbíonn garbh níos airde ag an dromchla bunaidh sintéaraithe neamhphróiseáilte, agus ní mór do dhromchlaí feidhmiúla (cosúil le dromchla asaithe bhfolús wafer, dromchla ailíniú beachtas séala dinimiciúil, dromchla inslithe ard-minicíochta agus ardvoltais) na ceanglais maidir le cruinneas meilt nó snasta Diamond a phróiseáil, agus a fheidhmíocht iarbhír a mheá agus a n-iarmhairt ar ráta séalaithe na gcáithníní bhfolús.

3. Comhéadan tionól agus oiriúnú leathnú teirmeach

Ina theannta sin, cinneann coinníollacha oibre foircneacha trealaimh leathsheoltóra go gcaithfear páirteanna ceirmeacha a chur le chéile le páirteanna struchtúracha miotail, rud a chuireann dúshláin mhóra ar dhearadh an chomhéadain tionóil agus cheangail sna líníochtaí. Ós rud é nach féidir criadóireacht chrua a thapú go díreach chun snáitheanna iontaofa a chruthú (is féidir le cnagadh díreach a bheith mar thoradh go héasca ar scoilteadh próifíl fiacail nó sciorradh fiacail), ba cheart dearadh na snáitheanna inmheánacha a thapú go díreach ar an gcorp ceirmeach a sheachaint go hiomlán sna líníochtaí. Áirítear ar na roghanna réasúnta eile: trí phoill a dhearadh le cinn nó céimeanna cuntaracha, agus boltaí trí-phoill miotail a úsáid le haghaidh clampála agus socraithe; úsáid a bhaint as greamacháin neamhorgánacha ardteochta nó muinchillí te le hiontáin miotail leabaithe; nó plátaí brú cruinneas agus struchtúir flange a úsáid chun páirteanna ceirmeacha a bhrú ar an mbonn miotail. Níos tábhachtaí fós, ní mór difríochtaí móra i gcomhéifeachtaí leathnaithe teirmeacha a chúiteamh i líníochtaí agus i lamháltais oiriúnacha. Tá comhéifeacht leathnú teirmeach na criadóireachta (cosúil le alúmana, chomhdhúile sileacain) i bhfad níos ísle ná sin de mhiotail struchtúracha mar chruach dhosmálta, cóimhiotail alúmanaim nó cóimhiotail tíotáiniam. Mura n-áirithítear go leor bearnaí leathnaithe teirmeacha idir poill cúplála nó bioráin le linn an dearadh, nuair a théann an cuas leathsheoltóra faoi phróisis ardteochta (cosúil le CVD, éifeacht balla te Etch cavity, nó bácáil ardteochta), ós rud é go bhfuil an ráta leathnaithe miotail i bhfad níos mó ná sin na criadóireachta, ginfear strus easbhrúite ar na codanna ceirmeacha gan dabht, rud a fhágann go mbeidh siad briste gan rabhadh.

4. Príomhriachtanais theicniúla a shainiú

Mar fhocal scoir, ní mór go mbeadh sainmhínithe go hiomlán gan athbhrí ag líníocht innealtóireachta ceirmeach leathsheoltóra aibí agus caighdeánaithe ar airíonna ábhartha agus ar phróisis iar-phróiseála sna ceanglais theicniúla nó sa cholún teidil. Áirítear leis seo go príomha na ceithre ghné lárnacha seo a leanas:

• Grád agus íonacht ábhair: Mar shampla, úsáidtear 6% nó 99.9% alúmana ard-íonachta agus cairbíd sileacain sinteáilte le frithghníomhú chun an baol a bhaineann le héilliú próisis leathsheoltóra chun cinn a rialú go docht le rian-eisíontais mar mhiotail alcaile.
• Táscairí comhchruinneachta agus aerdhíonachta: Sainmhínigh go soiléir an gá don chuid a bheith go hiomlán dlúth le nialais phiocháin oscailte (chun freastal ar riachtanais timpeallachtaí folúis ultra-ard), nó an gceadaítear struchtúr le porosity ar leith.
• Sonraíochtaí Micreaphróiseála Imeall: Tá sé éigeantach go ndéanfaí gach imill ghéar a chamfered nó a bhalbhú (mar shampla laistigh de 2 × 45 ° nó R0.2) chun burrs micreascópacha a dhíchur agus giniúint cáithníní micreascópacha a chosc le linn láimhseála agus cóimeála seomra glan.
• Sonraíochtaí glantacháin agus pacáistithe: Ní mór an táirge deiridh a ghlanadh agus a thriomú ultrasonaic le huisce dí-ianaithe ard-íonachta, agus é a phacáistiú i bpacáiste ciseal dúbailte i bhfolús a chomhlíonann caighdeáin seomra glan leathsheoltóra.