Ceannaireacht Déantúsaíochta Beachtais | Príomhfheidhmchláir Ardchruinnis Cheirmeacha i dTrealamh Leathsheoltóra

I saol micreascópach na déantúsaíochta leathsheoltóra, ní hamháin gur comórtas réitigh fhótaliteagrafaíochta é éabhlóid na bpróiseas nanascála, ach freisin cath rúnda na heolaíochta ábhartha bunúsacha. De réir mar a leanann déantúsaíocht sliseanna ag dul ar aghaidh i dtreo próisis 3nm agus faoi bhun, tá tástálacha foircneacha á ndéanamh ar thimpeallacht an phróisis - i bhfolús ultra-ard, plasma an-chreimneach, agus strus teirmeach leordhóthanach chun dífhoirmiú ar leibhéal miocrón a chur faoi deara.

Sa chomhthéacs seo, tá ábhair mhiotail agus orgánacha traidisiúnta ag tarraingt siar de réir a chéile ó chéim na croí-theicneolaíochta mar gheall ar theorainneacha ar a n-airíonna fisiceacha. Tá comhpháirteanna ceirmeacha beachtais tar éis éirí ina "cloch coirnéil dhocht" fíor-riachtanach i dtrealamh leathsheoltóra mar gheall ar a gcruasacht ard, modulus ard leaisteach, friotaíocht creimeadh agus cobhsaíocht theirmeach den scoth. De réir sonraí an tionscail, tá sciar luach na gcomhpháirteanna ceirmeacha beachtais i dtrealamh leathsheoltóra chun cinn tar éis léim go dtí thart ar 16%. Ní hamháin athsholáthar páirteanna é seo a thuilleadh, ach réabhlóid ábhartha a bhaineann le sábháilteacht an tslabhra tionsclaíoch agus teorainn uachtarach an phróisis.

一、 从高纯氧化铝到功能性氮化物的跨越

半导体设备对陶瓷的需求并非单一维度，而是根据刻蚀、沉积、光刻等不同工序的物理边界，形成了以氧化铝、氮化铝、氧化锆等为核心的材料矩阵。

Mar an ceirmeach ocsaíd is mó a úsáidtear, luíonn an luach lárnach d'alúmana ard-íonachta ina "táimhe ceimiceach fíor". Sa phróiseas eitseála tirim, déanfaidh plasma fluairín-bhunaithe nó clóirín-bhunaithe creimeadh ceimiceach láidir ar an gcuas. Ní féidir le alúmana ard-íonachta le íonacht níos mó ná 99.9% seasamh in aghaidh creimeadh plasma trí ábhar eisíontais a rialú, ach freisin éilliú tánaisteach an wafer ag iain miotail a sheachaint. Úsáidtear an t-ábhar seo, a chothromaíonn costas agus feidhmíocht, go forleathan i soic gáis, plátaí dáileacháin agus líneálacha cuas.

Mar sin féin, nuair a bhíonn malartú teasa mór i gceist leis an bpróiseas, léiríonn nítríde alúmanaim buntáistí nach féidir a athsholáthar. Mar nítríde le seoltacht ard teirmeach agus airíonna inslithe den scoth, is ionadh é a chomhéifeacht leathnaithe teirmeach agus sileacain aonchriostail. Laghdaíonn an meaitseáil seo go mór an baol go dtarlóidh warping imeall sliseog mar gheall ar strus teirmeach le linn próiseáil sliseog 12-orlach. Faoi láthair, tá nítríde alúmanaim tar éis éirí ina ábhar straitéiseach chun chucks leictreastatacha agus téitheoirí ardfheidhmíochta a mhonarú, a chinneann go díreach teorainn uachtarach aonfhoirmeacht teochta sa phróiseas.

Ina theannta sin, maidir le pacáistiú iartheachtacha agus naisc tarchurtha beachtas, seasann zirconia amach lena ard-dhianacht annamh i measc na gcóras ceirmeach. Trí phróisis níos déine mar chobhsú yttrium, sáraíonn zirconia leochaileacht nádúrtha na criadóireachta, rud a ligeann dó creathadh ard-minicíochta agus tionchar fisiceach a sheasamh nuair a bhíonn imthacaí, imthacaí agus comhlaí ceirmeacha beachtas á ndéanamh, ag leathnú go mór an meán-am idir teipeanna trealaimh.

2. Tacaíocht a thabhairt do chumhachtú próisis ar feadh an saolré

Ní athsholáthar scoite é cur i bhfeidhm criadóireachta beachtais, ach tá sé leabaithe go domhain i saolré iomlán déantúsaíochta leathsheoltóra.

isteach Nasc eitseála tosaigh , Mar phríomh-chomhpháirt chun imeall an wafer a chosaint agus an réimse sreabhadh plasma a cheartú, caithfidh an fáinne fócais cobhsaíocht iomlán a choinneáil i méid faoi thimpeallachtaí foircneacha. Is féidir leis an bhfáinne fócais déanta as criadóireacht bheachtais laghdú suntasach a dhéanamh ar mhinicíocht athsholáthair earraí inchaite, rud a fheabhsóidh infhaighteacht an mheaisín.

isteach Córas meaisín liteagrafaíocht Ina measc, tá criadóireacht bheachtais na "laochra taobh thiar den láthair" a shaothraíonn ciúnas agus cruinneas deiridh. D'fhonn cruinneas ailínithe leibhéal nanaiméadar a bhaint amach, tá stiffness sonrach an-ard agus comhéifeacht leathnú teirmeach íseal ag teastáil ó chéim workpiece an mheaisín fótailiteagrafaíocht. Cinntíonn ráillí treorach, scátháin cearnacha agus cupáin shúchán i bhfolús déanta as chomhdhúile sileacain agus nítríde sileacain, le linn gluaiseachtaí scanadh ardluais, nach gcruthóidh an córas fritháirimh díláithrithe atá leordhóthanach chun tionchar a imirt ar an toradh de bharr teasa beag bídeach.

isteach Próiseas pacáistithe cúl-deireadh , tá ról lárnach ag criadóireacht bheachtais freisin. Ag glacadh le nascáil sreang mar shampla, tá baint dhíreach ag friotaíocht caitheamh agus cumas frith-greamaitheachta an scian sreafa criadóireachta faoi oibríocht ardluais le hiontaofacht na sreinge nascáil. Cinntíonn criadóireacht Zirconia-bhunaithe gur féidir gach sreang óir chomh tanaí le gruaig a ancaire go cruinn mar gheall ar a rialú garbh dromchla den scoth agus a neart fisiceach.

3. Cinn teicneolaíochta faoi thonn an logánaithe

Ó thaobh an domhain, tá an margadh ard-deireadh le haghaidh criadóireacht bheachtais á áitiú le fada ag cúpla fathach ón tSeapáin, na Stáit Aontaithe agus an Eoraip. Mar sin féin, le coigeartú domhain ar an slabhra tionscal leathsheoltóra domhanda, tá criadóireacht chruinneas baile ag baint úsáide as tréimhse órga claochlaithe ó "taighde agus forbairt saotharlainne" go "tionsclaíocht agus olltáirgeadh".

Uasghrádú próisis déantúsaíochta: Tá cuideachtaí intíre ag conquering na teicneolaíochta lánphróiseála de réir a chéile ó ullmhú púdar ard-íonachta go múnlú chun cinn. Go háirithe i réimse na criadóireacht nítríde sileacain sintéaraithe brú aeir mór, tá cinn teicneolaíochta baile tar éis an spleáchas fadtéarmach ar allmhairí a bhriseadh agus rialú neamhspleách a bhaint amach ar na croí-chomhpháirteanna.

Cinn déthreocha i méid agus cruinneas: Leis an leathnú ar scála mór ar fabs wafer 12-orlach, tá méadú tagtha ar an éileamh ar chodanna ceirmeacha mór-trastomhas, cruth speisialta. Díreoidh iomaíocht teicneolaíochta sa todhchaí ar conas a chinntiú go scaoilfear strus inmheánach aonfhoirmeach i gcomhpháirteanna mórmhéide agus críochnú dromchla nana-scála a bhaint amach trí mheilt Diamond agus próiseáil micreapholl léasair.

"Demetallization" agus íonú ultra-ard: Chun dul i ngleic le próisis déantúsaíochta níos airde, tá ábhair ceirmeacha ag bogadh i dtreo "4N (99.99%)" nó fiú íonacht níos airde. Is é an t-aon bhealach chun feabhas a chur ar tháirgeacht sliseanna próisis chun cinn a laghdú neamhíonachtaí miotail rian laistigh d'ábhair.

"dul chun cinn" an tionscail a chur chun cinn le "mionchóiriú" na n-ábhar

Ní hamháin gur comhpháirteanna de threalamh leathsheoltóra iad criadóireacht bheachtais, ach freisin an bunús ábhartha a thacaíonn leis an tionscal micrileictreonaic nua-aimseartha. Maidir le hinnealtóirí trealaimh, tá tuiscint dhomhain ar airíonna fisiceacha agus ceimiceacha na n-ábhar ceirmeach mar bhunús le feidhmíocht meaisín a bharrfheabhsú; do chinnteoirí soláthair, tá bunú slabhra soláthair ceirmeacha cobhsaí agus ardcháilíochta ríthábhachtach chun rioscaí briseadh soláthair a sheachaint agus chun iomaíochas iomlán costais úinéireachta a fheabhsú.

De réir mar a bhogann margadh ardcheirmeacha leathsheoltóra na Síne i dtreo na céadta billiúin, táimid ag breathnú ar chéim ó "allmhairiú ábhair" go "onnmhairiú teicneolaíochta".

[Comhairliúchán gairmiúil agus tacaíocht theicniúil]

Bhí baint mhór againn le taighde agus forbairt criadóireacht bheachtais sa réimse leathsheoltóra le blianta fada, ag soláthar raon iomlán réitigh saincheaptha lena n-áirítear alúmana ard-íonachta, nítríd alúmanaim, nítríde sileacain agus ocsaíd siorcóiniam. Má tá tú ag lorg comhpháirteanna ceirmeacha ar féidir leo coinníollacha oibre foircneacha a láimhseáil, nó más mian leat plé domhain a dhéanamh ar roghanna eile baile, déan teagmháil lenár bhfoireann theicniúil.

Sroicheann cruinneas i bhfad, croí ceirmeach. Táimid ag tnúth le féidearthachtaí gan teorainn na heolaíochta ábhar a fhiosrú leat.